Plazmové generátory a systémy

Plazmové generátory a systémy

Díky mnoha výhodám plasmových systémů s MW generátory se objevují soustavně nové a nové možnosti využití těchto systémů v praxi. – při výrobě průmyslových diamantů, aktivaci a ošetření povrchů materiálů, sterilizaci, syntéze nanomateriálů, čištění plynů a mnoha dalších.


8 Aura-Wave ECR koaxiální plasma distribuovaná pro produkci velkého objemu plasmy, Argon 10-2 mbar, 20W/zdroj

Firma SAIREM vyvinula vlastní řadu plazmových generátorů a reaktorů a je tak schopna reagovat na nové a nové požadavky z oblasti těchto sofistikovaných technologií.
Speciální konfiguraci Vám rádi navrhneme na přání.

 

 

Generátory plazmy

Downstream generátor 2.45GHz


Obr. 1: Standardní 3kW, 2.45GHz systém


Plazmový generátor v dielektrické trubici (průměr 20-60 mm) umístěn ve standardním vlnovodu WR340. Tento zdroj umožňuje zážeh a udržení dlouhého sloupce plazmy v závislosti na tlaku, výkonu MW generátoru a vlastnostech použitého plynu.

Technická specifikace

Rozsah tlaků  Několik  102 m barů až atmosferický tlak
Typ plynu  Ar, h2, O2, vzduch...
Maximální výkon  6 kW
Typ použití  Tvorba radikátů / reaktivní částice, aktivace povrchů, PECVD, čištění plynů gas, zplynování, sterilizace (UV)


Obr. 2:  Downstream generátor 2.45 GHz WR340. Argon při 1 mbar a v různých výkonech MW generátoru

 

Surfguide generátor plasmy – 2.45 GHz


Hlavní předností tohoto systému je snížená hmotnost standardního vlnovodu MW do místa využití a navíc  pomáhá při zážehu a udržení plazmy. Tento systém je primárně určen  pro využití v rozsahu tlaků od několika mbarů po atmosférický tlak.

Rozsah tlaků  Několik  102 m barů až atmosferický tlak
Typ plynu  Ar, h2, O2, vzduch...
Maximální výkon  6 kW
Typ použití  Tvorba radikátů / reaktivní částice, aktivace povrchů, PECVD, čištění plynů gas, zplynování, sterilizace (UV)

 

 


 

 

 

 

 

 

Vodou chlazený surfguide WR340

 

 

S-Wave generátor plazmy  – 2.45 GHz


Tento S-wave generátor je určen pro snadnou aktivaci plazmy a vytváří povrchovou elektromagnetickou vlnu. S-wave je efektivním zdrojem plazmy pro tvorbu reaktivních / excitovaných částic v 6 mm nebo 8 mm dielektrické trubici. Pro využití při měřeních nebo analýzách, abychom se vyhnuli nežádoucím spektrálním ruchům při napětí 50/60Hz, doporučujeme použít solid state generátor SAIREM GMS 200W.

Rozsah tlaků  Několik  102 m barů až atmosferický tlak
Typ plynu  Argon nebo plyny na bázi argonu při atmosferickém tlaku. Všechny plyny při sníženém tlau
Maximální výkon  300 kW
Typ použití  Tvorba radikátů / reaktivní částice, aktivace povrchů, PECVD, čištění plynů gas, zplynování, sterilizace (UV)

Obr. S-WAVE s výkonem 200W a plazmou na bázi argonu při atmosférickém tlaku – 2.45 GHz


Aura-Wave ECR Coaxial generátor plazmy – 2.45 GHz

Tento model byl vyvinut pro možnost regulace po zážehu. Magnetické pole kombinované s elektromagnetickou vlnou umožňuje tvorbu plazmy při nízkém tlaku 10-3 mbar

 

Rozsah tlaků  Několik  102 m barů až atmosferický tlak
Typ plynu  Ar, N2, O2, CH4, He, vzduch...
Maximální výkon  6 kW
Typ použití Ošetření velké plochy povrchů, tvorba radikálů / aktivních částic, PECVD, tvorba diamantových krystalů, leptání, úprava povrchů, sterilizace

 

 

Obr.: Hi-Wave collisional generátor

Kyslík, 6x10-2 mbar, 8 Hi-Wave zdrojů x 200

 

Vzduch, 10-1 mbar, 200W

Dusík, 6x10-2 mbar, 8 HI-Wave zdrojů x 200W

V kombinaci s polovodičovým MW generátorem SAIREM dokáže tento generátor udržovat plazmu na výkonech od několika W. V provedení s více zdroji je Hi-Wave ideální pro opracování velkých plocj povrchů v pracovním prostředí mezi 10-2 a několika 10-1 barů a umožňuje zajišťovat plasmu s vysokou hustotou, vyšší než 1012 cm-3.

ICP generátor plasmy – 16.56 MHz a 27.12 MHz

ICP (Inductive Coupled Plasma) generátor plasmy pracuje na bázi radio frekvence a dokáže generovat indukční plazmu. RF zdroj je vestavěn okolo dielektrické trubice. Variace magnetického pole indukované RF proudem  společně s elektrickým polem  umožňuje vznik plasmy uvnitř dielektrické trubice.

 

Rozsah tlaků  Několik  102 m barů až do několika 100s mbar
Typ plynu  Ar, n2, O2, vzduch...
Maximální výkon  2 kW
Typ použití  Tvorba radikátů / aktivních částic, povrchová aktivace, PECVD

 

Obr: ICP generátor plasmy, Argon 5.10-1 mbar, 100W. Dielektrická trubice s průměrem 55 mm